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適用于晶圓磨削的磨削氣浮主軸

氣浮軸承

崇德科技

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最高轉(zhuǎn)速7000rpm。

徑向跳動(dòng)小于2μm,軸向跳動(dòng)小于2μm。

極小的形位公差與氣膜厚度帶來(lái)超高的剛度,徑向剛度200N/μm,軸向剛度400N/μm。

采用高性能空氣靜壓軸承支撐,具有極高的動(dòng)態(tài)回轉(zhuǎn)精度。

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